ファインセラミックス製品
シリコン含浸炭化ケイ素成形体(高純度)PARUCOCERAM SI
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高純度SiC原料を使用したシリコン含浸炭化ケイ素成形体です。半導体熱処理用部材として使用されております。原料から完成品までの一貫した製造工程と、 3mを超す大型品や高強度接合法による複雑形状品の製造に独自の技術を有しております。
仕様
- 品名
- PARUCOCERAM SI
- 材料
- シリコン含浸炭化ケイ素(高純度)
- 主用途
- 半導体の熱処理部材、半導体製造装置部品
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備考
ご希望により、CVD-SiCコーティングも可能です。仕様等、詳細はお問い合わせください。
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