ファインセラミックス製品

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ファインセラミックス製品 製品写真

原材料から成形品までの一貫した製造工程によって、高純度シリコン含浸型炭化ケイ素および、高純度再結晶炭化ケイ素を内外の半導体製造業界を主体に提供しております。これらは、従来のセラミックス系材料の持つ耐熱、耐蝕、高剛性、高硬度、高強度等の特性に加え、高純度で熱伝導度に優れております。

当社では、成形・加工技術の応用で従来のセラミックスでは不可能だった複雑形状品、3mを超える大型品の生産を可能としております。また、長年に亘る半導体熱処理用部材の生産により培った生産技術、品質管理体制を活かし、周辺分野への商品展開を進めております。

主な製品とその用途

系統品 主要な製・商品 主要な用途
ファインセラミックス部材 シリコン含浸炭化ケイ素成形体
PARUCOCERAM SI
半導体熱処理用部材
例: チューブ、ボート、サセプター
放熱部材
例: ヒートシンク
再結晶炭化ケイ素成形体
PARUCOCERAM RE
各種窯炉部材
例: セッター、ビーム、フィルター
炭化ケイ素系製品 超高純度炭化ケイ素
GMF-CVD
単結晶SiC用原料
例:パワーデバイス、LED
通信デバイス用

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